三星电子（Samsung Electronics）今天宣布，已经出货100万业界首款10nm EUV级（D1x）DDR4 DRAM模组。新的基于EUV的DRAM模块已经完成了全球客户评估，并将为在高端PC、移动终端、企业级服务器等等应用领域开启新大门。

据了解，三星是第一个在DRAM生产中采用EUV来克服DRAM扩展方面的挑战的厂商。得益于EUV技术，可以在精度更高的光刻中减少多次图案化的重复步骤，并进一步提升产能。

从第四代10nm级（D1a）或高度先进的14nm级DRAM开始，EUV将全面部署在三星未来几代DRAM中。三星预计明年开始批量生产基于D1a的DDR5和LPDDR5，这将使12英寸D1x晶圆的生产效率提高一倍。

为了更好地满足对下一代高端DRAM日益增长的需求，三星将在今年下半年内在韩国平泽市启动第二条半导体制造线的运营。