

由于阻挡层相对尺寸及电阻率增加问题,半导体行业正在寻找替代铜的金属线材料。 在较小尺寸中,钌的性能优于铜和钴,因此是较有潜力的替代材料。
2024-04-12 16:25Copyright 2000-2015 CCIDnet.All rights reserved.
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